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1、封裝臺加熱慢

封裝臺加熱片固定螺絲松動或加熱片老化。

2、封裝臺實(shí)測溫度與電腦顯示溫度有偏差

用一字螺絲刀調(diào)節(jié)電路板上VR1可調(diào)電阻（順時(shí)針調(diào)高溫度，逆時(shí)針調(diào)低溫度）。

3、封裝臺撞拉臺

a、檢查系統(tǒng)設(shè)置里面封裝臺寬度是否比封裝臺實(shí)際寬度大2mm。

b、封裝臺底座是否在拉臺中間位置。

4、流量計(jì)漏氣

關(guān)閉流量計(jì)輸出按鈕，將火頭這邊的氣管拆下，用燒杯裝好一杯水，將流量計(jì)輸出氣管放入水中，如果流量計(jì)漏氣會出現(xiàn)水泡，這時(shí)用小的一字螺絲刀調(diào)節(jié)流量計(jì)進(jìn)氣管上面的調(diào)零口逆時(shí)針調(diào)節(jié)。調(diào)節(jié)時(shí)注意慢慢調(diào)，直到輸出氣管剛好不漏氣，電腦顯示輸出流量在0~2SCCM即可（首先以不漏氣為準(zhǔn)，如果調(diào)多了會出現(xiàn)輸出流量比設(shè)置流量偏小）。

5、調(diào)入?yún)?shù)流程提示“內(nèi)有非法字符”

參數(shù)界面設(shè)置不能有空格、句號、逗號等字符。